Witryna从专利撰写的角度,撰写者使用的重点词都应该进行定义或者就该词代表的物体进行详细地描写,可以有效避免歧义。 可能出现这种情况,同一部件位置,可以叫做腔,也可以叫做腔体,如果不能清楚区分,就需要进行结构描写,或者在图中标号。 发布于 2024-05-12 23:56 赞同 1 条评论 分享 收藏 喜欢收起 郑岗 万有兵法精解千秋古文言,百释因缘明 … Witryna腔体. 播报 编辑 锁定 讨论 上传视频 特型编辑. 一种与外部密闭隔绝同时内部为空心的物体. 腔体,形容一种与外部密闭隔绝同时内部为空心的物体,也用来描述已成型的塑料封 …
一种半导体真空传输系统的制作方法 - X技术
Witryna1.一种用于处理基片的处理腔,位于一半导体处理系统中,所述半导体处理系统具有一主机架和一真空锁,所述处理腔包括:一处理腔腔体,在其内部定义有处理区域,所述处理腔腔体具有连接机制,用以将所述处理腔腔体连接到所述真空锁的侧壁;一第一端口,被设置用以在所述处理区域和主机架之间传输基片;一第二端口,被设置用以在所述处 … WitrynaPumps the Loadlock until vacuum is ready. Lower/Upper Loadlock position Drives stage to the lower/upper exchange position to ensure that stage is on the right height when robot arm moves in. Open gate valve Opens the gate valve. Possible only, if the system vacuum and Loadlock vacuum are ready. Status is indicated also on Loadlock … blackledge theatre
半导体设备中loadlock腔的作用_百度问一问
WitrynaLoadLok es miembro de Cargo Control Company (C3). C3 es el proveedor número 1 de soluciones inteligentes de control de carga para la industria europea del transporte, … WitrynaClaims (20) 1. A wafer handling system comprising: providing a loadlock tray assembly having a plurality of vertically-stacked loadlock trays; and. mounting nipples around each of the plurality of vertically-stacked loadlock trays for supporting a plurality of wafers, each of the nipples having a flat top. 2. WitrynaDurch unsere führenden Produktmarken LoadLok und Roland sind wir für unsere innovative und hochtechnologische Herangehensweise sowohl an unsere Produkte … blackland prairie topography